Mittel- bis Hochvakuum

WL-Serie

Die Vakuumfilter der WL-Serie von Solberg sind für eine Vielzahl von Industrie- und Halbleiterprozessen konzipiert, bei denen schnelle Temperatur- und/oder Druckzyklen zu rauen Betriebsbedingungen führen. Die WL-Serie ist ideal für Mittel- und Hochvakuumanwendungen mit Vakuumöfen oder Beschichtungsanlagen. Sie ist standardmäßig mit verschiedenen vakuumtauglichen Flanschoptionen und austauschbaren Filterelementen ausgestattet, die hervorragenden Schutz und Langlebigkeit für das Vakuumsystem bieten. Die Gehäuse dieser Serie sind zu 100 % Helium-dichtheitsgeprüft, um die Vakuumintegrität zu gewährleisten und Leckraten bis zu 1x 10-5 mbar/l/s zu verifizieren.