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半导体和太阳能电池板制造的真空技术

半导体行业支持大多数工业市场,包括消费电子、汽车、自动化、能源和电信。 近期新冠疫情期间的供应链冲击和短缺进一步凸显了提高全球制造能力的必要性。 在 Solberg,我们专注于对经济和社会至关重要的行业。



利用真空过滤优化半导体制造工艺

真空泵应用于半导体和太阳能电池等相关行业的许多核心制造工艺中。 硅晶体/硅锭生长、晶圆制造、化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD) 和 EVA 层压是需要持续真空的几个核心工艺。 作为真空过滤市场值得信赖的领导者,Solberg 设计了保护泵和周围环境的解决方案。 根据工艺过程,真空泵可能会以固体和蒸汽形式受到污染。 专用的过滤解决方案将保护泵并实现峰值真空性能、延长服务间隔和连续 24/7 输出。

 

 

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