Vakuumtechnologie für die Herstellung von Halbleitern und Solarmodulen

Die Halbleiterindustrie unterstützt die meisten Industriemärkte, darunter Unterhaltungselektronik, Fahrzeuge, Automatisierung, Energie und Telekommunikation. Die jüngsten Schocks und Engpässe in der Lieferkette während der COVID-19-Pandemie haben den Bedarf an erhöhten globalen Produktionskapazitäten verstärkt. Bei Solberg konzentrieren wir uns auf Branchen, die für Wirtschaft und Gesellschaft von entscheidender Bedeutung sind.

JRS Baureihe

Mehrstufige Dampfkondensatoren

VTL/VTS Baureihe

Vakuumfallen

WL Baureihe

Mittel- bis Hochvakuumfilter

Spezielle Filtermedien

Einzigartige Medien für Spezialanwendungen

Optimieren Sie Halbleiterfertigungsprozesse mit Vakuumfiltration

Vakuumpumpen werden in vielen der wichtigsten Fertigungsprozesse für Halbleiter und tangentiale Industrien wie Solarzellen eingesetzt. Das Züchten von Siliziumkristallen/-barren, die Waferfabrik, die chemische Gasphasenabscheidung, die Atomlagenabscheidung (ALD) und die EVA-Laminierung sind einige Kernprozesse, die ein konstantes Vakuum erfordern. Als vertrauenswürdiger Marktführer auf dem Markt für Vakuumfiltration entwickelt Solberg Lösungen zum Schutz der Pumpen und der Umgebung. Je nach Prozess besteht die Möglichkeit einer Kontamination der Vakuumpumpe in fester und dampfförmiger Form. Eine speziell entwickelte Filtrationslösung schützt die Pumpe und ermöglicht eine Spitzenleistung des Vakuums, verlängerte Wartungsintervalle und eine kontinuierliche 24/7-Leistung.

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