Вакуумные технологии для производства полупроводников и солнечных панелей

Полупроводниковая промышленность поддерживает большинство промышленных рынков, включая бытовую электронику, транспортные средства, автоматизацию, энергетику и телекоммуникации. Недавние потрясения в цепочке поставок и дефицит во время пандемии COVID-19 усилили потребность в увеличении глобальных производственных мощностей. В Solberg мы фокусируемся на отраслях, имеющих решающее значение для экономики и общества.

Серия JRS

Многоступенчатые конденсаторы пара

Серия VTL/VTS

Всасывающие вакуумные ловушки химической адсорбции

Серия WL

Фильтры среднего и высокого вакуума

Специализированные фильтрующие среды

Уникальные среды для специальных применений

Оптимизация процессов производства полупроводников с помощью вакуумной фильтрации

Вакуумные насосы используются во многих основных производственных процессах для полупроводников и смежных отраслей, таких как солнечные элементы. Выращивание кристаллов/слитков кремния, производство пластин, химическое осаждение из паровой фазы (CVD), атомно-слоевое осаждение (ALD) и ламинирование EVA — вот несколько основных процессов, для которых требуется постоянный вакуум. Будучи надежным лидером на рынке вакуумной фильтрации, Solberg разрабатывает решения для защиты насосов и окружающей среды. В зависимости от процесса существует вероятность загрязнения вакуумного насоса твердыми частицами и парами. Специально разработанное решение для фильтрации защитит насос и обеспечит максимальную производительность вакуума, увеличенные интервалы обслуживания и непрерывную круглосуточную производительность.

Свяжитесь с нами или прочитайте наш блог для получения дополнительной информации о полупроводниковой промышленности и наших решениях для вакуумной фильтрации.