Mittleres bis hohes Vakuum
Die Vakuumfilter der WL-Serie von Solberg sind für eine Vielzahl von Industrie- und Halbleiterprozessen konzipiert, bei denen schnelle Wärme- und/oder Druckzyklen zu rauen Betriebsbedingungen führen. Die WL-Serie ist ideal für Anwendungen im mittleren bis hohen Vakuumbereich, bei denen Vakuumöfen oder Abscheidungswerkzeuge zum Einsatz kommen. Die WL-Serie ist standardmäßig mit einer Vielzahl vakuumtauglicher Flanschoptionen und austauschbaren Filterelementen ausgestattet, die hervorragenden Schutz und Langlebigkeit für das Vakuumsystem bieten. Gehäuse dieser Serie werden zu 100 % auf Heliumlecks getestet, um die Vakuumintegrität sicherzustellen und Leckraten bis zu 1x 10-5 mbar/l/s zu überprüfen.
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